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MTI 电容位移放大器

MTI电容位移传感器

AS-9000 AS-500 MICROCAP电容位移传感器


 

应用范围:
适于半导体、磁盘驱动器、机械用具、电子工业
●位移、●厚度、●同轴度、●振动、●尺寸大小、●平坦度、
●内外径、●发动机振动

放大器规格:

特点

AS-9000

AS-500

MicroCap

通道数

最多 2通道

最多6通道

1通道

1测量范围

0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.)

2分辨率(%满量程) RMS

0.00167%

3精度(%满量程)

± 0.02%

频率响应

标准的滤波器模块有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz)

可选组件

稳定稳定性

± 0.01% FSR/ °C

模拟输出 0-10 Vdc

BNC4

BNC4

欧洲标准螺丝端子

输出阻抗

50

 

电力需求

 

85到265 Vac

 

47到 440Hz

 85到 265 Vac

 47到 440 Hz

可选12 Vdc

 

± 15 Vdc

 

求和放大器

标准的双通道单位

插板卡式

没有

操作温度

4 to 38°C

尺寸

240x160x50mm

175x140x340mm

150x60 x13mm

重量

2.3 kg

4.6 kg

0.11 kg

电容位移传感器的应用

显微镜聚焦 镜头的对准 测量零件的外形 测量零件的倾斜 测量半导体硅片的厚度 测量压电平台的位移 测量振动 测量电脑硬盘运行和厚度 测量刹车盘的翘曲和厚度 测量金属板的厚度 测量光伏晶圆

MTI 标准探头的特点

电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC  -- 200ºC (也有高温探头,在下一页有介绍)

连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC

精度: 高于满量程的±0.02% (当探头和放大器经过和被测物校准后)

标准放大器滤波带宽: 500Hz

可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

探头和电缆互换性: ± 0.5%(在没有经过校准的情况下互换)

承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)

材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件

带线缆的探头,同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)

型号       ASP-1-ILR

量程

2最大扩展量程

感度

感测直径E

探头直径D

探头长度L

最小范围

µm

25.4

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILR

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

型号       ASP-25M-CTR

量程

2最大扩展范围

感度

感测直径E

探头直径D

探头长度L

最小范围

µm

25.4

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

9.53

mm

25.40

µm

1.270

ASP-50M-CTR

50.8

10

5.08

1.55

9.53

25.40

2.540

ASP-125M-CTR

127.0

10

12.70

2.49

9.53

25.40

6.350

ASP-250M-CTR

254.0

10

25.40

3.53

9.53

25.40

12.700

ASP-500M-CTR

508.0

4

50.80

5.00

11.13

25.40

25.400

ASP-1250M-CTR

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

25.40

63.500

ASP-2500M-CTR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

25.40

127.000

产品型号       ASP-1-ILA

量程

2最大扩展范围

感度

感测直径E

探头直径D

探头长度L

最小范围

µm

25.4

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILA

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

,25.400

ASP-50-ILA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

  

型号       ASP-0.5-CTA

量程

2最大扩展范围

感度

感测直径E

探头直径D

探头长度L

最小范围

µm

12.7

20

µm/V

1.27

mm

0.74

mm

6.35

mm

63.50

µm

0.635

ASP-25M-CTA

25.4

10

2.54

1.09

6.35

63.50

1.270

ASP-50M-CTA

50.8

10

5.08

1.55

6.35

63.50

2.540

ASP-125M-CTA

127.0

10

12.70

2.49

6.35

63.50

6.350

ASP-250M-CTA

254.0

10

25.40

3.53

6.35

63.50

12.700

ASP-500M-CTA

508.0

5

50.80

5.00

11.10

63.50

25.400

ASP-1250M-CTA

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

63.50

63.500

ASP-2500M-CTA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

63.50

127.000

ASP-5000M-CTA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

101.60

254.000

ASP-500-CTA

12700.0

1

1270.00

25.22

82.55

101.60

635.000

 

型号       ASP-1-PCA

量程

2最大扩展范围

感度

感测直径E

探头直径D

探头长度L

最小范围

µm

25.4

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCA

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

<,P class=TableParagraph style="MARGIN: 0.4pt 0cm 0pt 13.65pt">127.000

 

 

型号       ASP-1-PCR

量程

2最大扩展范围

感度

感测直径E

探头直径D

探头直径L

最小范围

µm

25.4

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCR

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

ASP-200-PCR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

5.08

254.000

电容位移放大器中文型录资料.pdf

Cap_SProbe_Brochure.pdf

 


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